胡卉
济南晶正电子科技有限公司
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3
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被引次数
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领域：无线电电子学;仪器仪表工业;金属学及金属工艺;
基金： 国家自然科学基金;中国博士后科学基金;广东省自然科学基金;山东省自然科学基金;
发文量： 近五年发文量趋势图 >>
关注领域
薄膜层
离子注入
复合薄膜
铌酸锂
权利要求
薄膜制备
过渡层
分离层
钽酸锂
隔离层
铌酸锂薄膜
基板
直接键合
缓冲层
集成光学
光刻胶
光波导
发明名称
铌酸锂晶体
化学机械抛光
研究成果
总发文量：64 总下载量：3344
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