王雨春
安集微电子科技(上海)股份有限公司
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领域：一般化学工业;金属学及金属工艺;化学;
发文量： 近五年发文量趋势图 >>
关注领域
化学机械抛光
氧化铈
去除速率
腐蚀抑制剂
选择比
平坦化
抛光垫
络合剂
表面缺陷
CMP
介电材料
碳酸铈
抛光效果
二氧化铈
除铜
覆盖层
氮化硅
通孔
唑类
表面粗糙度
研究成果
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