为了研究微米间距放电起始路径对传统巴申（Paschen）曲线的影响，在电极间距为10μm-100μm、气压为1kPa-100kPa的范围内，对两组不同电极进行气体放电实验，并利用COMSOL多物理场仿真软件模拟了板-板电极在微间距中的电场强度和电子密度，同时对近似放电路径进行数值计算。研究发现在电极边缘没有绝缘层时，平台期内电极间的电离系数会随着气压的降低而减小，使得间隙内的碰撞电离次数减少，从而导致电极间距内难以满足自持放电要求。此时，通过改变放电路径使得电极边缘的某个位置满足自持放电要求，从而击穿电压维持在最低值附近，并且在路径改变的过程中，电子密度分布也会伴随着路径的改变向电极边缘发展。同时，发现在电极间距固定时，通过延长路径达到放电要求的程度，会随着气压的降低，向电极边缘处延伸的更长。