通过热丝化学气相沉积法制备氧化钨（WO_x）薄膜，并将其应用于无掺杂异质结太阳电池。研究表明，衬底温度在沉积过程中起着重要作用，衬底温度从室温升高到200℃，WO_x薄膜的表面颗粒尺寸减小，薄膜更加致密；功函数先升高再迅速下降；透过率在150℃以内无...