传统溶液进样SN-ICP-MS技术测定微量元素存在耗时较长、交叉污染风险及难溶矿物是否完全溶解等问题，本文针对XRF（X射线荧光光谱仪）主量元素测试的玻璃片，建立了一种利用193 nm ArF准分子激光剥蚀系统（LA）与ICP-MS联用快速分析样品微量元素丰度的方法。根据硼酸锂熔融玻璃片样品的特点，优化了激光参数，系统比较了选择不同内标元素和不同基质外部参考标准对分析结果的影响。实验结果表明，采用Ca为内标、NIST612为外标的校正策略，可在GSR系列花岗岩、安山岩、玄武岩等8种标样中获得高精度稀土元素数据（相对偏差SD10%，相对标准偏差RSD10%）。与前人利用飞秒激光系统的分析结果对比显示，193 nm准分子激光在稀土元素分析中具有相似的可靠性，但在过渡金属元素（如Sc）分析上存在局限性。将该方法应用于华南木子店地区基性-超基性岩样品，其LA-ICP-MS与SN-ICP-MS的稀土数据相对偏差≤12%，验证了方法的实用性。本研究提出的硼酸锂熔融玻璃制备结合准分子激光分析技术，显著简化了前处理流程（样品总用量约0.6 g），规避了酸消解和稀释过程中的交叉污染风险，为开展全岩稀土元素地球化学研究提供了一个高效手段。