在主动补偿型显微干涉技术测量硅基高深宽比结构时，当物镜焦面与沟槽底部未重合，由于变形镜被施加了欠补偿或过补偿的离焦量，尽管可以得到清晰的底部成像，但物镜焦面偏离沟槽底部，导致干涉信号包络偏移，进而影响深度及其他关键形貌参数的测量精度。为此，本研究基于...