热压印技术制备带覆盖层的As_2S_3硫系脊型光波导-光子学报2025年02期-手机知网

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热压印技术制备带覆盖层的As_2S_3硫系脊型光波导

南昌大学物理与材料学院 | 胡海邹林儿章玉峰彭玉发商俊杰沈云

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采用热压印法制备As_2S_3硫系脊型光波导过程中，波导表面会出现析晶及脱模时黏连问题，难以获得高质量的波导。为此，在As_2S_3硫系薄膜上蒸镀一层厚约70 nm的具有较高玻璃转化温度的Ge_(20)Sb_(15)Se_(65)硫系薄膜作为覆盖层，...

机　构:

南昌大学物理与材料学院；

领　域:

物理学；无线电电子学；

关键词:

集成光学；脊型光波导；热压印技术；硫系玻璃；覆盖层；

格　式:

PDF原版；EPUB自适应版(需下载客户端)

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