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科学家研制出新型锆钛酸铅光子集成工艺开发套件
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薄膜锆钛酸铅铁电材料可在氧化硅上完成大尺寸、高质量晶体薄膜沉积生长,利于实现低成本、大规模生产使用。该材料有望突破传统材料体系在带宽和能效上的设计瓶颈,实现低能耗、高速率、高度集成的片上电光调制
领 域:
材料科学;
工业通用技术及设备;
关键词:
光子集成;
锆钛酸铅;
工艺开发;
格 式:
PDF原版;EPUB自适应版
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2024年12期
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