基于MEMS技术的微型热导检测器设计与研究
热导检测器(Thermal Conductivity Detector)是气相色谱仪各种不同检测器中比较常用的一种,在石油化工、冶金、煤炭等行业内,热导检测器已是不可缺少的分析工具。文章以微型热导检测器作为研究对象,研究了微型热导传感器设计中的几个关...
传感器世界
2024年11期
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