在化学机械抛光(CMP)技术中,抛光浆料是关键中的关键。CMP抛光浆料主要由磨料、溶剂和各种不同的添加剂组成。在浆料的运输、储存和处理过程中,可能会发生由于团聚而导致的大颗粒污染,进而导致表面的微划痕或其他缺陷。而添加分散剂是常见的提高浆料稳定性的做...