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采用氧化铈柔性抛光垫实现单晶金刚石的高效机械化学抛光
华侨大学制造工程研究院
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宋金博
辛永康
王嘉炜
赵子龙
陆静
开通知网号
金刚石不仅具有优异的机械性能(包括高硬度、高弹性模量),其热学性能和光学性能(高热导率、低热膨胀系数、宽的光谱透过范围等)也十分优越,使金刚石成为了一种极佳的光学窗口材料。为了实现更小程度的波前畸变和更高的系统效率,金刚石的抛光格外重要。如图1所示:...
领 域:
无机化工;
关键词:
CVD单晶金刚石;
机械化学抛光;
材料去除机理;
格 式:
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