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基于高级氧化法（AOPs）的纳米抛光液对碳化硅（SiC）进行高效的化学机械抛光（CMP）

上海大学材料科学与工程学院 | 陈是东雷红

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在没有能量输入的条件下,基于AOPs的CMP以高效率地获得SiC超光滑表面是一个具有挑战性的问题。以Al_2O_3为磨料,通过氧化石墨烯(GO)合成了三种不同的Fe基纳米抛光液(Fe/GO/Al_2O_3、Fe2O_3/GO/Al_2O_3和Fe_3...

领　域:

无机化工；金属学及金属工艺；

关键词:

AOPs；CMP；SiC；Fe；氧化石墨烯；

格　式:

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中国稀土学会2023学术年会、第十五届中国包头·稀土产业论坛摘要集

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