表面传声器的薄片化集成型(典型厚度<5 mm)特点能够满足航空发动机舱内噪声监测、汽车表面噪声分析等场景中的高精度测量需求,但是传统的频率响应校准方法无法与表面传声器适配,使其校准受到限制。为了有效解决这一量值溯源问题,提出了一种基于静电激励器法原理适用于表面传声器结构的静电激励器装置。该装置通过结构适应性设计可以适配不同尺寸及结构特征的表面传声器类型。以B&K 4949型表面传声器为例的对比实验结果表明,测得的频率响应曲线与其出厂标定值相比,在20 Hz～20 kHz频率范围内,偏差≤3.0 dB,符合预期要求。本装置的研制可以有效解决表面传声器的溯源技术瓶颈,为飞行器声学性能评估、车辆风噪特性研究等工程应用提供了计量学保障。